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產(chǎn)品說明

MFC（流量計(jì)）

FCS-P系列（壓力式流量計(jì)）

　　FCS即流量控制系統(tǒng)（Flow Control System），是專為確立近年來半導(dǎo) 體制程中，越來越受重視的蝕刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性而開發(fā)出來的產(chǎn)品?；静僮髟碛袆e于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計(jì)，這是一款經(jīng)由壓力控制，從而達(dá)到高精度流量控制目標(biāo)的嶄新產(chǎn)品。FCS 能克服氣體供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的壓力變動(dòng)或干擾等制程上不穩(wěn)定的因素，提供給客戶無限制且穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特性

●結(jié)構(gòu)簡單
FCS內(nèi)部結(jié)構(gòu)相當(dāng)簡單，且是個(gè)完全零死角的結(jié)構(gòu)。
●卓越的壓力變動(dòng)特性
上游壓力變動(dòng)時(shí)，質(zhì)量流量控制器輸出值會呈現(xiàn)大幅度變化，但FCS則完全沒有任何變動(dòng)。
●采用流量參數(shù)（FLOW FACTOR）
采用流量參數(shù)，即可利用N2校正，是FCS對應(yīng)各種氣體。
●卓越的精準(zhǔn)度
全流量10%以上時(shí)，精準(zhǔn)度在設(shè)定點(diǎn)的±1.0%以下，反之則為全流量的±0.1%以下，精準(zhǔn)度相當(dāng)高。
●搭載流量異常診斷功能
●反應(yīng)靈敏
●設(shè)置位置不受限（MOUNT POSITION FREE）
●對應(yīng)DEVICE NET
經(jīng)第三機(jī)構(gòu)測試單位ODVA的測試，完全通過ODVA測試軟體VerA-14的測試

FCS-P（壓力式流量計(jì)）
可將FCS安裝與IGS內(nèi)，即可組成一個(gè)更小型、更具絕佳性能的氣體供應(yīng)系統(tǒng)。

FCS-T系列（熱式流量計(jì)）

　　Fujikin_?Carp_?Group 通過多年經(jīng)驗(yàn)技術(shù)的累積，近年成功研發(fā)出熱傳感式流量控制器。在擁有原有的壓力式控制流量器FCS-P系列的基礎(chǔ)上，F(xiàn)ujikin隆重推出了熱式流量控制器FCS-T系列。不論是低端或是高端的要求，我們都有相對應(yīng)的產(chǎn)品來滿足客戶的需要。
　

	T2000系列 T2000(壓感閥Piezo Valve） ·無需氣體選擇的低溫感應(yīng)器 ·對應(yīng)Devicenet ·金屬密封

	T1000系列 T1000（電磁閥） ·T1000（M）Z：多氣體多量程MFC ·T1000（M）F：高性能數(shù)字式MFC ·T1000（M）L：常用模擬性MFC ·T1200F、T1500F：數(shù)字控制大流量MFC ·T1000MF-HT：高溫對應(yīng)MFC ·UPC：自動(dòng)壓力控制器

WVG（水蒸氣發(fā)生器）

　　1995年 Fujikin_?Carp_?Group突破傳統(tǒng)燃燒式水蒸氣發(fā)生器范疇，利用觸媒反應(yīng)，成功地開發(fā)出高純度水蒸氣發(fā)生器。經(jīng)由不斷耐用性等相關(guān)測試，取得各種數(shù)據(jù)，并經(jīng)過不斷地改良，終于成功地研發(fā)出目前所使用的水蒸氣發(fā)生器（WVG）。和燃燒式水蒸氣發(fā)生器相比，WVG由于可在低溫狀態(tài)下產(chǎn)生水蒸氣，故除具備絕佳安全性外，還可實(shí)現(xiàn)無沾染目標(biāo)。其次，流量、控制范圍寬廣的優(yōu)點(diǎn)，受到目前各種制程的采用。

產(chǎn)品特性

●利用H2和O2流經(jīng)反應(yīng)爐后產(chǎn)生觸媒反應(yīng)而形成水蒸氣，可在低溫（350℃）的狀態(tài)下產(chǎn)生水蒸氣。
●濃度控制范圍廣泛——可控制1%～100%范圍的水蒸氣濃度，控制范圍廣且精度相當(dāng)高。
●卓越的安全性——低溫運(yùn)作，且反應(yīng)爐下方安裝線上氣體濃度偵測器（IN-LINE GAS SENSOR），當(dāng)未反應(yīng)氣體濃度上升時(shí)，該偵測器會立刻發(fā)出警告或報(bào)警訊號。
●各種自動(dòng)閉鎖功能——當(dāng)發(fā)生異常時(shí)，極其會自動(dòng)傳輸警報(bào)訊號，并切斷WVG加熱器的電源。
●安全規(guī)格——符合CE標(biāo)志。SEMI-S2規(guī)定
●超薄氧化膜控制（富氧制程類型O2 RICH TYPE）
●水蒸氣發(fā)生條件——除可形成O2水蒸氣外，還可形成H2水蒸氣，故適用于“選擇氧化”等新制程。
●使用壓力條件——常壓（0.2Mpa以下）?？勺孕羞x用制作減壓、高壓類型。
●無沾染——完全通過觸媒反應(yīng)形成水蒸氣，故完全不會發(fā)生沾染情況。且配管采用SUS316L材質(zhì)，連接部位采用UPG接頭，保證持續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)超高純水蒸氣氣體。
●用途——可廣泛用于擴(kuò)散機(jī)臺、RTP機(jī)臺等熱處理機(jī)臺等各種制程范圍。