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不銹鋼儀表閥
不銹鋼儀表閥 |
New Mega系列膜片閥 適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。 該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu),達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片閥基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了小型化。 口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力可達(dá)20.5Mpa 材質(zhì):SUS316L EP級處理 | |
Mega系列膜片閥 適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。 該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu),達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力可達(dá)20.5Mpa 材質(zhì):SUS316L EP級處理 | |
軟管·金屬膜片系列 適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。 該閥采用金屬軟管結(jié)構(gòu),具備高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等特性。 口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力可達(dá)16.2Mpa 材質(zhì):SUS316L EP級處理 | |
標(biāo)準(zhǔn)系列 針閥:口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力達(dá)4.9Mpa 材質(zhì):SUS316 EP級處理 超迷你球閥:口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力達(dá)16.2Mpa 材質(zhì):SUS316 EP級處理 線上逆止閥:口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力達(dá)16.2Mpa 材質(zhì):SUS316 EP級處理 過濾器:口徑:1/4”~1/2”最高使用壓力達(dá)16.2Mpa 材質(zhì):SUS316 EP級處理 | |
高耐用型閥系列 Mega系列高耐用型膜片閥:在Mega系列膜片閥性能基礎(chǔ)上,具備著卓越的耐用性,使用次數(shù)可達(dá)到3000萬次以上,并且Cv值更高。 電子式小型直接隔膜閥(ECV):特殊材料以及高純度氣體用直接式隔膜閥,采用超強(qiáng)力螺線管,使其制動器實(shí)現(xiàn)小型化的同時(shí),高速關(guān)閉也成為可能。 | |
大流量閥系列 直接式隔膜閥,可對應(yīng)高壓氣體官署認(rèn)證品。 口徑:1/4“/1/2” Cv值范圍:0.25 ~1.5 最高使用壓力范圍:1Mpa ~20.5Mpa 使用流體溫度范圍:-10 ~40℃ EP級處理 | |
高溫閥系列 Mega系列高溫閥是可以對應(yīng)最高達(dá)350 ℃的全金屬閥門。與專業(yè)的加熱器搭配使用,能夠有效防止高溫制成或排氣處理時(shí)產(chǎn)生的生成物附著。 口徑: 1/4”~1/2”最高使用壓力1Mpa EP級處理 | |
兩段式切換氣動閥 此閥門是為了防止流體急劇流入最先進(jìn)半導(dǎo)體制程機(jī)臺的腔體等內(nèi)部,導(dǎo)致微粒四處飛揚(yáng)污染腔體而被研發(fā)出來的。采用直接式隔膜結(jié)構(gòu),經(jīng)由操作壓導(dǎo)入切換,可達(dá)到正確切換流量的效果。 | |